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什么是memes(微機電系統)添彩网平台注册?

文章出處: 發表時間:2018-6-11 21:43:14

      微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統添彩网平台注册、微系統添彩网平台注册添彩网平台注册、微機械等添彩网平台注册,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的添彩网平台注册,融合了光刻添彩网平台注册、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路添彩网平台注册、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術,廣泛應用于高新技術產業,是一項關系到國家的科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術添彩网平台注册。

[1] MEMS側重于超精密機械加工,涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電添彩网平台注册、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。

[2] MEMS是一個獨立的智能系統添彩网平台注册,可大批量生產添彩网平台注册,其系統尺寸在幾毫米乃至更小,其內部結構一般在微米甚至納米量級。

常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產品。

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